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真空金属指纹镀膜机
— 真空金属指纹镀膜机
可用于光学镀膜、DVD镀膜、IR/UV原件镀膜、各式镜面镀膜、液晶镀膜、塑料元件镜头镀膜、半导体元件镀膜、潜在指纹镀膜显现等。
设计特点
♦
1:
全中文化自动控制系统。
♦
2:
高性能真空抽气系统。
♦
3:
两组可切换式蒸镀源。
♦
4:
膜厚检测系统。
技术参数
♦
型号:
KD-Fingerprint/Thermal。
♦
腔体尺寸:
600x600x750mm,Sus304不锈钢材质,内外点解抛光,外焊冷却水路。
♦
试片证物放置台:
半圆型可拉出式载台,试片证物可利用磁铁固定于载台上。
♦
蒸镀源功率:
200A/10V蒸镀源电源供应器,10转可调式精密输出控制高功率,4-1/2数位显示电流表。
♦
低真空邦浦:
油回转式机械泵浦,抽气效率:600L/min。
♦
高真空邦浦:
扩散泵浦,抽气效率:3400L/S。
♦
蒸镀源切换装置:
可二组或以上之蒸镀源自动切换蒸镀。
♦
一高两低真空计:
1 ATM -10-9 TORR FULL RANGE 3 SENSORS。
♦
膜厚检测器:
多功能LCD荧幕,镀膜解析度 0.02A/SEC,量测速率:0.1sec,RS-32INTERFACE。
♦
人机界面控制器:
彩色中文化软件,故障原因及记录,自动或手动控制切换,参数存储和记忆功能,异常警报功能。
♦
保护装置:
阀门及各元件互锁保护,NFB漏电保护功能,配电盘水电隔离装置,紧急停止按钮,阀门用常闭装置防止断电油气回渗。
♦
真空性能:
30MIN ≤ 50X10-6TORR。
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